×
By clicking accept, you understand that we use cookies to improveyour experience on our website. For more details, please see our
Cookie Policy.
2025/9/8 8:00:00
vsport(中国区)官方网站上海总司理王坚体现：
KrF工艺前道涂胶显影装备Ultra Lith KrF的推出拓展了vsport(中国区)官方网站上海在前端工艺装备领域的影响力 ，， ，，，，，体现了我们应对更普遍的光刻手艺挑战 ，， ，，，，，KrF光刻手艺仍是成熟工艺器件生产的焦点工艺 ，， ，，，，，我们信托此类装备在全球半导体产出中占比重大且一连增添。。。。。。。。通过同时提供ArF和KrF工艺涂胶显影系统 ，， ，，，，，我们正在更普遍的应用领域中 ，， ，，，，，实现了顺畅的晶圆厂集效果率 ，， ，，，，，提升制造无邪性。。。。。。。。
vsport(中国区)官方网站上海推出的KrF工艺涂胶显影Track装备Ultra Lith KrF接纳无邪工艺�？？？？？？？？樯柚� ，， ，，，，，配备12个旋涂腔和12个显影腔（12C12D） ，， ，，，，，并搭载54块可准确控温的热板 ，， ，，，，，支持低温、中温及高温工艺处置惩罚 ，， ，，，，，具备优异的热匀称性。。。。。。。。该装备产能凌驾300片晶圆/小时（WPH） ，， ，，，，，并集成vsport(中国区)官方网站上海专利申请中的背面颗粒去除�？？？？？？？？椋˙PRV） ，， ，，，，，有用降低交织污染危害。。。。。。。。
别的 ，， ，，，，，集成的晶圆级异常检测（WSOI）�？？？？？？？？榭墒迪质凳惫ひ瘴蟛罴觳夂土悸室斐＜嗖� ，， ，，，，，从而提高工艺稳固性和生产效率。。。。。。。。
