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     vsport(中国区)官方网站（以下简称“vsport(中国区)官方网站上海”）建设于2005年，，，，，，，，是上海市政府科教兴市项目重点引进的集成电路装备企业，，，，，，，，是具备天下先进手艺的半导体装备制造商。。。。。。。
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公司具有高新手艺企业资质，，，，，，，，一连多年被评为“中国半导体装备五强企业”，，，，，，，，先后肩负多个国家科技重大专项项目的主要课题的研发。。。。。。。vsport(中国区)官方网站上海驻足自主立异，，，，，，，，通过多年的手艺研发和工艺积累，，，，，，，，乐成研发出全球首创的 SAPS/TEBO 兆声波洗濯手艺和 Tahoe 单片槽式组合洗濯手艺，，，，，，，，应用于 28nm及以下手艺节点的晶圆洗濯领域。。。。。。。SAPS和TEBO解决了兆声波洗濯手艺在单片洗濯装备上应用的两浩劫题；；；；；；；Tahoe单片槽式组合洗濯装备相比现有单片洗濯装备大幅镌汰了硫酸的使用量，，，，，，，，在资助客户降低生产本钱的同时，，，，，，，，知足了节能减排的要求。。。。。。。
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