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vsport(中国区)官方网站“SAPS兆声波洗濯手艺”项目荣获2020年度上海市科技前进一等奖！

2021/5/27 13:43:05

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    5月25日，， ， ，，2020年度上海市科学手艺奖宣布，， ， ，，vsport(中国区)官方网站“SAPS（空间交变相位移）兆声波洗濯手艺”项目，， ， ，，在众多评选项目中脱颖而出，， ， ，，荣获科技前进一等奖！

 


 

“SAPS（空间交变相位移）兆声波洗濯手艺”
 


    为顺应半导体行业越来越严苛的要求，， ， ，，vsport(中国区)官方网站半导体装备全球首创了拥有自主知识产权的SAPS（空间交变相位移）兆声波洗濯手艺，， ， ，，有用解决了硅片外貌兆声波能量漫衍匀称性的工业手艺难题。。。。。。。该手艺已申请75余件海内外发明专利，， ， ，，依托该手艺开发的高端单片兆声波洗濯装备进入了国际一流集成电路生产线，， ， ，，客户群包括集成电路芯片制造、硅片制造、先进封装和科研机构，， ， ，，与国际同类非兆声波洗濯装备相比，， ， ，，单步洗濯的产出制品良率更高。。。。。。。

 
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